廠房被拆遷補償款的受益人通常是廠房的產權所有者或者使用權人。根據國家相關法律法規(guī)的規(guī)定，廠房被拆遷后，如果是國有廠房，補償款將歸屬于國有單位或者國有企業(yè)；如果是集體所有的廠房，補償款將歸屬于集體經濟組織或者鄉(xiāng)鎮(zhèn)村集體經濟組織。在實際操作中，由于廠房產權的復雜性和不同地區(qū)的具體政策差異，也可能會有其他權利人參與分配或者領取補償款。

根據《中華人民共和國城市房屋拆遷管理條例》的規(guī)定，對于拆遷補償款的分配，需要符合公平、合理、公開的原則。補償方式通常包括貨幣補償和安置補償兩種方式。貨幣補償通常是指以現金形式給予補償，安置補償則是指提供新的廠房或者土地等替代性資源。

在具體補償款分配的過程中，一般會由相關拆遷部門組織召開拆遷補償分配會議，將拆遷補償款分配計劃進行公示，以確保補償的公平和合理。補償款比例和具體金額的確定通常由拆遷部門根據相關法律法規(guī)和政策文件進行規(guī)定，并根據實際情況進行調整。

需要注意的是，在具體操作中，可能會出現一些糾紛和爭議，比如產權糾紛、估價爭議等。對于這些問題，當事人可以通過提出異議、聯系相關部門進行申訴或者法律途徑進行維權。

總之，廠房被拆遷后的補償款由廠房產權所有者或者使用權人領取，其分配過程要符合公平、合理、公開的原則，確保受益人的權益得到保護。同時，在具體操作中可能會遇到一些問題，需要合理維護自身權益。